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簡要描述：高精度氣體質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì)MFM：◆精度更高，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口；◆管狀分流，不易堵塞；◆適用于各種低壓和高壓管道；◆預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，可靠性高；◆可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量；◆數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選；
產(chǎn)品型號：ACU20FD-LH 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-08-19訪 問 量：14375相關(guān)文章
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一、ACU20FD 高精度氣體質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì)MFM 產(chǎn)品概述：
◆精度更高，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口；
◆管狀分流，不易堵塞；
◆適用于各種低壓和高壓管道；
◆預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，可靠性高；
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量；
◆數(shù)字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協(xié)議可選；
二、產(chǎn)品應(yīng)用：
真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金
環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)
三、ACU20FD 高精度氣體質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì)MFM 產(chǎn)品參數(shù)：
| 滿量程范圍 | 2SCCM～6000SLM |
| 準(zhǔn) 確 度 | ±0.5%F.S |
| 線 性 | ±0.5%F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 流量計(jì)：＜0.1s；流量控制器：<0.2s |
| 數(shù) 字 量 | RS232/485，MODBUS等協(xié)議 |
| 模 擬 量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供 電 | ±15VDC，24VDC，220V（轉(zhuǎn)接） |
| 工作溫度 | 0～60℃ |
| 工作壓降 | <0.01Mpa（流量計(jì)） |
| 工作壓差 | 0.002~0.5Mpa （流量控制器） |
| 耐 壓 | 3MPa/10MPa |
| 漏 率 | 1×10-9SCCSHe |
| 溫度系數(shù) | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材質(zhì) | 不銹鋼 |
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，F(xiàn)FKM/FFPM等 |
| 接 頭 | φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等 |
如果所需性能要求與上述性能不同，請溝通定制。
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